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U薄膜制备方法

吕学超 , 任大鹏 , 汪小琳

稀有金属材料与工程

探讨了U薄膜的制备方法.主要介绍了机械抛光、电解抛光、机械轧制、磁控溅射沉积、离子束辅助沉积和聚焦离子束方法等,涉及了精细U薄膜的制备要求.同时,简要介绍了防止U薄膜氧化的后处理手段.

关键词: U薄膜 , 制备方法 , U薄膜抗氧化处理