朱锋
,
魏长春
,
张晓丹
,
高艳涛
,
孙建
,
王岩
,
韩晓艳
,
赵颖
,
耿新华
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.04.006
采用VHF-PECVD技术沉积硼掺杂的P型微晶硅薄膜材料,在硅烷浓度(SC)为0.8%,反应气压93Pa时,随等离子体功率的增加,材料的晶化率和电导率先增大,后减小;薄膜的透过率随功率的增大而增加.将获得的P型微晶硅薄膜应用在微晶硅薄膜太阳电池中,电池结构为glass/p-μc-Si:H/I-μc-...
关键词:
VHF-PECVD
,
微晶硅
,
太阳电池
陈庆东
,
王俊平
,
李洁
,
张宇翔
,
卢景霄
人工晶体学报
采用激活能测试装置测量VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜,并对不同晶化率的样品和不同沉积功率、不同沉积压强条件下沉积制备的样品的激活能进行了分析研究.结果表明:在非晶-微晶相变域附近,激活能随着晶化率的升高而降低;随着沉积功率的增大和沉积气压的增大,沉积速率提高,样品的激活能升高,通过提高沉...
关键词:
VHF-PECVD
,
微晶硅
,
激活能
H.D.Yang
金属学报(英文版)
Raman scattering spectroscopy and scanning electron microscopy (SEM) techniques were used to determine the structural properties of two typical series of microcrystalline silicon (μc-Si:H) films deposited at different VHF plasma power and different working gas pressure by very high frequency plasma ...
关键词:
VHF-PECVD
,
null
,
null
张晓丹
,
赵颖
,
朱锋
,
魏长春
,
孙建
,
侯国付
,
薛俊明
,
耿新华
,
熊绍珍
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.041
本文主要研究了用VHF-PECVD方法制备的不同辉光功率条件下系列硅薄膜样品.喇曼测试结果显示:在不同硅烷浓度(SC)条件下,非晶到微晶的过渡区发生在不同的功率点;暗电导随晶化率也体现出不同的变化,此结果表明不同SC、不同功率制备样品的结构特性和电学特性的内在规律是不同的;另外,扫描电子显微镜的测试...
关键词:
甚高频等离子体增强化学气相沉积
,
过渡区
,
微区喇曼光谱
,
扫描电子显微镜
