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基于不同自组装单层的酞菁氧钒薄膜晶体管

崔宁 , 张娟 , 李航宇 , 宋德

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153001.0057

研究了不同界面修饰层对酞菁氧钒(VOPc)薄膜晶体管性能的影响.通过AFM图谱分析不同界面修饰层上VOPc薄膜的生长行为,通过半导体参数测试仪测试分析不同界面上器件的电学特性.实验结果表明,十八烷基三氯硅烷(OTS-18)修饰后生长的VOPc薄膜,比正辛基三氯硅烷(OTS-8)和苯基三氯硅烷(PTS...

关键词: 自组装单分子层 , 薄膜形貌 , 酞菁氧钒 , 烷基链