唐武
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范芸
,
李海霞
,
翁小龙
,
邓龙江
功能材料
通过射频磁控溅射方法,在柔性PET衬底上低温沉积电致变色WOx薄膜.利用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的微观结构、透光率、O元素的结合状态.结果表明,各氧分量下制备的WOx薄膜均为非晶态;氧分量0时制备的薄膜着、退色态透光率变化范围达到25%左...
关键词:
WOx薄膜
,
低温沉积
,
电致变色
,
射频磁控溅射
李海霞
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唐武
,
翁小龙
,
邓龙江
,
孔占兴
稀有金属材料与工程
采用射频磁控溅射工艺,在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx/ITO/PET多层薄膜;利用X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的着、退色态中W元素的价态以及O元素的化合环境.结果表明:WOx薄膜着色态中存在W6+和W5+的混合价态,而在退色态中W元素的化合价仅为W6+;钨离子的不同价态和氧离子...
关键词:
WOx薄膜
,
电致变色
,
磁控溅射
