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Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的X射线面探扫描分析

杨帆 , 费维栋 , 高忠民 , 蒋建清

功能材料

根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜所受为残余拉应力,同时利用X射线面探扫描方法评价了薄膜的残余应力分布.

关键词: Pb(Zr,Ti)O3薄膜 , X射线二维衍射 , 多晶面探衍射仪 , 残余应力

残余应力及其分布的X射线二维衍射分析与计算

陈冷 , 张清辉 , 毛卫民

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2006.01.030

根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变基本方程,提出了一种基于X射线多晶面探测器衍射系统的残余应力及其分布测量方法,即通过分析X射线衍射圆锥的变形程度确定应变张量,进而计算应力张量.该方法有效地利用X射线面探测器的"虚拟摆动"功能,在一定程度上解决了传统X射线衍射法较难处理的粗晶材料和有织构材料的残余应力测量问题.对304不锈钢的残余应力及其分布进行了分析与计算,结果表明,该合金呈表面残余压应力,并且应力分布比较均匀.

关键词: 残余应力 , 应力分布 , X射线二维衍射 , 304不锈钢

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