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蒸发淀积Al和Teflon AF薄膜间的相互作用

丁士进 , 王鹏飞 , 张卫 , 王季陶 , 张台文 , 夏钟福

金属学报

通过X-射线光电子光谱(XPS),研究了蒸发淀积Al与Teflon AF薄膜间的相互作用.高分辨率Al2p,Ols,Cls和Fls XPS光谱分析表明在Al和Teflon AF界面处有AI的氟化物(AlxFy)以及C-O-Al有机化合物的形成.考虑到蒸发淀积Al前后,CF3基团降低和CF2基团增加,...

关键词: Al , null , null , null , null