朱杰
,
张志萌
,
马爽
人工晶体学报
通过选择合适的研磨剂、抛光垫以及抛光材料,采用机械抛光与CMP抛光相结合的方法对应用于高激光损伤阈值的薄膜基体材料YCOB晶体进行表面加工.通过优化研磨抛光工艺后得到超光滑晶体表面,样品表面在125μm×94μm的范围内粗糙度RMS值达到0.6 nm,同时具有非常低的亚表面损伤层,经过超声清洗和有机溶剂刻蚀后,在高倍显微镜下无明显划痕.
关键词:
亚表面
,
YCOB
,
抛光
,
CMP
罗军
,
钱世雄
,
范世驰
,
王锦昌
,
钟真武
,
徐家跃
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.02.005
坩埚下降法沿＜010＞和＜001＞方向生长了直径达到25mm的完整透明的Ca4YO(BO3)3(YCOB)晶体.化学腐蚀结果表明,所生长晶体无孪晶或亚晶界等缺陷,晶体尾部的位错密度不超过1800/cm2.测量了YCOB的透射光谱,其截止波长为200nm.进行了YCOB晶体对Nd:YAG激光的二次倍频实验.通过与KDP晶体对比,计算出YCOB晶体的有效非线性系数在Ⅰ型相位匹配方向(θ,φ)=(66.3°,143.5°)和(65.9°,36.5°)上分别为1.45pm/V和0.91pm/V,大于KDP和LBO晶体.在脉冲宽度10ns的Nd:YAG激光单脉冲辐射下YCOB晶体出现体损伤的激光损伤阈值不低于85GW/cm2.
关键词:
YCOB
,
晶体生长
,
坩埚下降法
,
二次倍频效应
,
激光损伤阈值
