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YZO薄膜的Sol-gel制备及其性能

郭米艳 , 张萌 , 肖宗湖

材料导报

采用Sol-gel法在普通载玻片上制备YZO薄膜.研究了陈化时间和Y掺杂量对薄膜晶体结构、表面形貌和光学性能的影响,并分析和探讨了工艺参数与结构和性能之间的关系.实验结果表明,YZO薄膜为纤锌矿结构,呈c轴择优取向生长,平均透光率(380～760nm)超过85%.实验还发现,陈化时间存在最优值,YZ...

关键词: Sol-gel法 , YZO薄膜 , 陈化时间 , 透光率