王晓丹
,
赵志伟
,
王静雅
,
徐军
,
GilbertBourdet
,
J.-C.Chanteloup
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00125
采用热键合技术制备了Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12(Yb:YAG/YAG)复合晶体, 对复合晶体进行了结构表征和键合质量检测. 利用光学显微镜和扫描电镜观察了复合晶体横截面的形貌; 在偏光显微镜下观察键合区域的应力, 利用干涉条纹来表征复合晶体的光学均匀性; 通过红外透过光谱的测量来检测复合晶体的键合质量. 实验结果表明: 热键合技术制备的Yb:YAG/YAG复合晶体键合界面处无界面缺陷, 不存在复合界面空间过渡层, 光学均匀性良好.
关键词:
Yb:YAG/YAG
,
bonding quality
,
stress
,
optical homogeneity
,
thermal bonding
王晓丹
,
赵志伟
,
王静雅
,
徐军
,
Gilbert Bourdet
,
J.-C. Chanteloup
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.01.024
采用热键合技术制备了Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12(Yb:YAG/YAG)复合晶体,对复合晶体进行了结构表征和键合质量检测.利用光学显微镜和扫描电镜观察了复合晶体横截面的形貌;在偏光显微镜下观察键合区域的应力,利用干涉条纹来表征复合晶体的光学均匀性;通过红外透过光谱的测量来检测复合晶体的键合质量.实验结果表明:热键合技术制备的Yb:YAG/YAG复合晶体键合界面处无界面缺陷,不存在复合界面空间过渡层,光学均匀性良好.
关键词:
Yb:YAG/YAG
,
键合质量
,
应力
,
光学均匀性
,
热键合