高立华
,
郑玉婴
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.08.006
采用射频磁控溅射工艺，以高密度氧化锌铝陶瓷靶为靶材，衬底温度控制在室温，在玻璃基底上制备了透明导电 ZnO∶Al(ZAO)薄膜.利用 X 射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见光谱仪和范德堡法，系统研究了不同溅射功率对薄膜的结构、形貌及光电特性的影响.结果表明，不同溅射功率对薄膜的光透射率影响不大，而对薄膜结晶和电学性能影响较大.XRD 表明薄膜为良好的 c 轴择优取向；可见光区(400~600 nm)平均透过率达到85％以上；在120 W 下沉积的薄膜电学性能达到了最佳.
关键词:
ZAO 薄膜
,
溅射功率
,
方块电阻
,
透过率
李琨
,
罗发
,
苏晓磊
,
朱冬梅
,
周万城
功能材料
用溶胶-凝胶法在石英玻璃基底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜,研究了热处理温度和Al掺杂含量对薄膜红外发射率的影响.通过XRD和SEM分析了薄膜的微观结构和表面形貌,用光谱辐射计测量了薄膜在8～14μm波段的光谱发射率.结果表明,制备的ZAO薄膜都具有ZnO六角形纤锌矿结构,没有生成杂质相.热处理温度是影响薄膜在8～14μm波段平均红外发射率(ε)的主要因素.随热处理温度的升高和Al掺杂含量的增加,薄膜的ε值有降低的趋势.
关键词:
ZAO 薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
红外发射率
