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ZnCoMnO薄膜的制备、结构和磁性研究

刘艳美 , 宋学萍 , 韩家骅

功能材料

在200～500℃的衬底温度范围,用电子束蒸镀法制备了具有室温铁磁性的ZnCoMnO薄膜.400℃制备的薄膜饱和磁化强度和剩磁最大.X射线分析表明,除200℃制备的薄膜结晶和取向较差外,其它温度的薄膜都沿C轴高度取向,(002)面间距和衍射峰半高宽(FWHM)接近相等.讨论了衬底温度对薄膜晶体结构和磁性的影响.

关键词: ZnCoMnO薄膜 , 室温磁性 , 衬底温度 , 电子束蒸镀