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衬底温度对脉冲激光沉积在Si衬底上Zn_（0.95）Co_（0.05）O薄膜的影响

姜守振 , 王传超 , 满宝元 , 许士才 , 王善朋

功能材料

在不同的衬底温度下在n型Si（111）衬底上采用脉冲激光沉积的方法生长了（002）择优取向的具有室温铁磁性的Zn0.95Co0.05O薄膜。X射线衍射显示所生长的薄膜呈六方纤锌矿结构。X射线光电子能谱测试表明薄膜中出现的室温铁磁性不是由于Co团簇产生的。发现薄膜生长过程中产生的间隙锌、氧空位以及晶格...

关键词: ZnCoO , 铁磁 , 脉冲激光沉积 , 温度