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磁控溅射和退火制备ZnO／Si02复合薄膜

程晓蕾 , 刘志 , 施焕儒 , 简建明 , 徐杨

材料热处理学报

采用射频磁控溅射和退火处理的方法在单晶硅衬底上制备了ZnO／SiO：复合薄膜，利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、能谱分析（EDS）和接触角测量等测试手段研究溅射气压、溅射功率、氧氩比和退火温度等对复合薄膜成分组成、组织结构及润湿性能的影响。研究表明，复合薄膜中主要有ZnO、SiO：、Zn...

关键词: 磁控溅射 , 退火 , ZnO/SiO2 , 复合薄膜 , 润湿性