程晓蕾
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刘志
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施焕儒
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简建明
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徐杨
材料热处理学报
采用射频磁控溅射和退火处理的方法在单晶硅衬底上制备了ZnO／SiO：复合薄膜，利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、能谱分析（EDS）和接触角测量等测试手段研究溅射气压、溅射功率、氧氩比和退火温度等对复合薄膜成分组成、组织结构及润湿性能的影响。研究表明，复合薄膜中主要有ZnO、SiO：、Zn：SiO。3种物相，且分别以六方纤锌矿结构、无定形态和硅锌矿型等形式存在。随着溅射和退火工艺的改变，复合薄膜的接触角在41°～146°问变化，组织形态由颗粒状向纳米竹叶状变化。溅射气压0．5Pa，溅射功率120W，氧氩比（O2：Ar）为0：30，退火温度为700℃的条件下获得具有六方纤锌矿结构的ZnO纳米组织，该组织呈现出竹叶状，在薄膜表面交错排列形成了无序多空隙的微观形貌，使复合薄膜具有超疏水性，接触角为146°。
关键词:
磁控溅射
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退火
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ZnO/SiO2
,
复合薄膜
,
润湿性
