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直流磁控溅射法制备掺钛氧化锌透明导电薄膜

刘汉法 , 张化福 , 袁玉珍 , 袁长坤

材料导报

采用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出高质量的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜,研究了溅射功率对ZnO:Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响,结果表明,溅射功率对ZnO:Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响.XRD表明,ZnO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.当溅射功率...

关键词: ZnO:Ti , 透明导电薄膜 , 溅射功率 , 磁控溅射