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检索条件：关键词=ZnO:Ti薄膜
刘汉法 , 袁玉珍 , 张化福 , 袁长坤
人工晶体学报
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了高质量的掺钛氧化锌透明导电薄膜(ZnO: Ti).研究了溅射压强对ZnO: Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响.研究结果表明,溅射压强对ZnO: Ti 薄膜的结构和电阻率有显著影响.X射线衍射(XRD)表明,ZnO: Ti 薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜...
关键词: ZnO:Ti薄膜 , 透明导电薄膜 , 溅射压强 , 磁控溅射
刘汉法 , 张化福 , 袁玉珍 , 袁长坤 , 类成新
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.06.010
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜.SEM和XRD研究结果表明,ZnO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.厚度为437 nm薄膜的电阻率为1.73×10~(-4) Ω·cm.所制备薄膜具有良好的附着性能...
关键词: ZnO:Ti薄膜 , 透明导电薄膜 , 磁控溅射 , 光电性能
