郝晓涛
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马瑾
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马洪磊
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杨莺歌
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王卿璞
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黄树来
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.03.003
铝掺杂的氧化锌(ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底(Polypro-pylene adipate, PPA)和Corning 7059玻璃上制备的.详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO∶Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为2.55×10-3Ω·cm和1.89×10-3Ω·cm,平均透射率达到了80%和85%.
关键词:
ZnO∶Al透明导电膜
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薄膜厚度
,
柔性衬底
