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Electrical and optical properties of ZnO∶Al films with different hydrogen contents in sputtering gas

Fei Qu , Teng Zhang , Hong-Wei Gu , Qing-Quan Qiu , Fa-Zhu Ding , Xing-Yu Peng , Hong-Yan Wang

稀有金属（英文版） doi:10.1007/s12598-014-0435-8

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