化麒麟
,
杨培志
,
杨雯
,
付蕊
,
邓双
,
彭柳军
人工晶体学报
采用脉冲磁控溅射系统在玻璃衬底上制备了ZnO∶B薄膜,利用霍尔测试仪和紫外-可见光-近红外分光光度计及逐点无约束最优化法,研究了溅射气压(0.1 ～3 Pa)对ZnO薄膜的光学和电学特性的影响.结果表明:ZnO∶B薄膜在可见光区域内的平均透光率高于80％,近红外波段的透过率及薄膜的电阻率与溅射气压成...
关键词:
磁控溅射
,
ZnO∶B薄膜
,
溅射气压
,
透过率
,
电阻率
,
折射率
化麒麟
,
付蕊
,
杨雯
,
杨培志
材料导报
采用脉冲磁控溅射系统在玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(ZnO∶B)薄膜,利用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、紫外-可见光-近红外分光光度计和四探针测试仪研究了溅射时间与薄膜的结构、光学和电学特性的关系.结果表明:ZnO∶B是多晶薄膜,具有六方钎锌矿结构且呈c轴择优取向,其透明导电性能优良,在可见光...
关键词:
ZnO∶B薄膜
,
溅射时间
,
光电特性
,
透光率
王宁
,
王奉友
,
张晓丹
,
王利果
,
郝秋艳
,
刘彩池
,
赵颖
人工晶体学报
因晶体硅是间接带隙半导体材料,其较低的吸收系数限制了对近红外波段入射光的吸收.为此,引入金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术制备的ZnO薄膜,并通过改变掺杂流量和沉积时间调节ZnO∶ B(BZO)薄膜的光学和电学性能.将BZO薄膜用于硅异质结(SHJ)太阳电池的背反射电极,相比于传统结构,电池的反...
关键词:
ZnO∶B薄膜
,
金属有机化学气相沉积
,
外量子效率
,
异质结太阳电池
王何美
,
朱华
,
冯晓炜
,
况慧芸
,
王艳香
人工晶体学报
采用射频磁控溅射技术,改变玻璃衬底温度制备B掺杂ZnO薄膜,薄膜的微结构及其光电性能分别用X-射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、四探针测试仪及粗糙度测试仪进行表征.结果表明:ZnO∶B薄膜样品表面平整,具有六角纤锌矿结构并呈C轴择优取向.所有薄膜样品在420 ～ 900 nm区间内的平均透光率大于9...
关键词:
ZnO∶B薄膜
,
磁控溅射
,
光电特性
