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薄膜厚度对ZnO∶Y薄膜结构及光电特性影响

杨田林 , 宋淑梅 , 辛艳青 , 李延辉 , 杜桂强 , 韩圣浩

人工晶体学报

室温下采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型ZnO∶Y (ZnO掺杂Y2O3,简称ZnO∶Y)透明导电薄膜.研究了薄膜厚度对ZnO∶Y薄膜结构、光电特性的影响.结果表明:不同厚度的ZnO∶Y薄膜均为多晶薄膜,具有ZnO六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向....

关键词: 磁控溅射 , ZnO∶Y薄膜 , 电阻率 , 透过率