Vinay Kumari
,
Vinod Kumar
,
Devendra Mohan
,
Purnima
,
B.P. Malik
,
R.M. Mehra
材料科学技术（英文）
Variation of nonlinear optical properties with surface roughness of ZnO thin films deposited on corning glass substrates at different annealing temperature (TA) was reported. The films were characterized by X-ray diffraction (XRD), UV-Vis-NIR transmission and single beam z-scan technique us...
关键词:
ZnO films
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Jun ZOU
,
Shengming ZHOU
材料科学技术（英文）
About Φ45 mm LiAlO2 single crystal was grown by Czochralski (Cz) technique. However, the full-width at half-maximum (FWHM) value was high to 116.9 arcsec. After three vapor transport equilibration (VTE) processes, we can obtain high-quality LiAlO2 slice with the FWHM value of 44.2 arcsec. ZnO films ...
关键词:
Crystal structure
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陈新亮
,
张德坤
,
赵颖
,
人工晶体学报
本文研究了B2H6掺杂流量(B掺杂)对平面结构MOCVD-ZnO薄膜的微观结构和光电性能影响.XRD、SEM和AFM测试的研究结果表明,玻璃衬底上制备的ZnO薄膜具有(002)峰择优取向的平面结构,B掺杂使薄膜的球状晶粒尺寸变小,10 sccm流量时晶粒尺寸为～15 nm.ZnO:B薄膜的最小电阻率...
关键词:
MOCVD
,
ZnO薄膜
,
B掺杂
,
太阳电池
臧航
,
王志光
,
魏孔芳
,
孙建荣
,
姚存峰
,
申铁龙
,
马艺准
,
杨成绍
,
庞立龙
,
朱亚斌
原子核物理评论
室温下用80 keV N离子注入ZnO薄膜样品,注量分别为5.0×10~(14),5.0×10~(15)和5.0×10~(16) ions/cm~2,然后用X射线衍射和透射电镜技术对样品的结构特性进行了表征.实验结果表明,由高度(002)择优取向的致密柱状晶构成的薄膜中,注入5.0×10~(15) ...
关键词:
ZnO薄膜
,
N离子注入
,
X射线衍射
,
透射电镜
贾芳
,
曹培江
,
曾玉祥
材料导报
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在氧气气氛中以高纯Zn为(99.999%)靶材,在单晶硅和石英衬底表面成功生长了ZnO薄膜.通过X射线衍射仪、表明轮廓仪、荧光光谱仪、紫外可见分光光度计对合成薄膜材料的晶体结构、厚度、光学性质等进行了研究,分析了ZnO薄膜的沉积时间对其性能的影响.结果表明,采用PLD法...
关键词:
脉冲激光沉积
,
ZnO薄膜
,
沉积时间
李伙全
,
曾祥华
,
韩玖荣
功能材料
在室温下利用射频磁控溅射法在硅（100）基片上制备ZnO薄膜,利用X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对其结晶性能进行分析。研究了制备条件对薄膜沉积速率的影响。分析了薄膜沉积速率对薄膜结晶状况的影响及源气体中的氧气和氩气的流量比对薄膜结晶状况的影响。研究结果表明,薄膜的生长速率强烈依赖于射...
关键词:
ZnO薄膜
,
工艺参数
,
择优取向
