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利用Mg含量控制Zn_(1-x)Mg_xO薄膜压敏电阻器的阈值电压

季振国 , 张春萍 , 冯丹丹 , 柯伟青 , 毛启楠

材料科学与工程学报

利用溶胶-凝胶法制备了Zn_(1-x)Mg_xO压敏薄膜,并通过X射线衍射、X射线能谱、紫外-可见光谱仪、I-V特性测试仪等对薄膜及其压敏特性进行了表征.XRD结果表明,掺Mg后Zn1-xMgxO薄膜仍然为六方纤锌矿ZnO晶体结构;紫外-可见吸收谱表明,随着薄膜中Mg含量的增加,薄膜的吸收边蓝移,禁...

关键词: Zn_(1-x)Mg_xO , 薄膜压敏电阻器 , Mg掺杂 , 阈值电压