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超薄纳米晶Zr-N扩散阻挡性能及其热稳定性的研究

丁明惠 , 张丽丽 , 盖登宇 , 王颖

功能材料

用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了25nm的纳米晶Zr-N阻挡层,Cu/Zr-N/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃.用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射参数对Zr-N薄膜电阻率和扩散阻挡性能的影响.实验结果表明,N2分压从20%增加到...

关键词: Zr-N纳米晶 , 扩散阻挡层 , Cu互连 , 射频反应磁控溅射