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不同氮分压制备纳米复合Zr-Si-N薄膜的组织与性能研究

王剑锋 , 马大衍 , 宋忠孝 , 唐武 , 徐可为

稀有金属材料与工程

利用射频反应磁控溅射设备在不同N2分压下制备了Zr-Si-N 纳米复合薄膜.研究了N2分压对薄膜组织和性能的影响.结果表明:随着N2分压的增加,薄膜中Zr、Si元素含量比降低,且薄膜方电阻增加;Zr-Si-N薄膜的微观组织由纳米晶ZrN嵌入SiNx非晶基体构成,在低N2分压条件下,有少量Zr2Si ...

关键词: Zr-Si-N薄膜 , 磁控溅射 , 微观组织 , 性能