徐键
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董建峰
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杨任尔
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徐清波
稀有金属材料与工程
以锆和硅的醇盐为原料,合成了平面波导用紫外光敏性ZrO2-SiO2有机-无机杂化溶胶-凝胶光学材料,用旋涂法在单晶硅片上制备了其光学薄膜.用棱镜耦合仪、FTIR红外光谱仪和原子力显微镜(AFM)等测试了薄膜的厚度和折射率、结构基团和薄膜表面粗糙度,并用棱镜耦合法测试了其平板型光波导的光传输损耗.结果表明:该杂化材料可用于制备厚达约20 μm、折射率在1.45～1.50间可调、表面粗糙度小(约0.2 nm)的均匀光学薄膜;以这些杂化薄膜为导光层和衬底层的平板型光波导的光传输损耗小于1dB/cm.
关键词:
溶胶-凝胶
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光学薄膜
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有机-无机杂化材料
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光敏材料
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ZrO2-SiO2
张华山
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韩辉
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巨国贤
,
邵晶
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苏春辉
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.04.007
采用正硅酸乙酯和氧氯化锆,通过溶胶-凝胶法,以有机改性硅酸盐技术和水置换法相结合在 80℃条件下制备 ZrO2-SiO2 无开裂干凝胶.使用 TG-DTA 研究了干凝胶在加热过程中的热量和质量变化,根据 TG-DTA 曲线选择合适的温度对 10ZrO2-90SiO2(质量分数)干凝胶进行了热处理,并进行了 XRD 和 IR 分析,确定了干凝胶的析晶情况以及材料结构中各种基团的振动情况.采用有机改性硅酸盐技术和水置换法相结合可以减少凝胶在热处理过程中的开裂程度,ZrO2 的含量对胶凝时间和凝胶的颜色有很大的影响,当热处理温度升高时,析晶倾向越来越明显,达到 1150℃时出现晶体转变.
关键词:
ZrO2-SiO2
,
溶胶-凝胶法
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彩色显象管
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功能材料
