李海元
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唐永兴
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胡丽丽
稀有金属材料与工程
采用醇热法水解氧氯化锫(ZrOCl2·8H2O)制备ZrO2溶胶,提拉法涂膜.采用粘度、粒度分布、折射率、IR、DSC、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征.结果表明,ZrO2溶胶颗粒的平均粒径为18.9 nm,薄膜经300℃热处理后折射率可高达1.95,膜层表面均匀平整,表面平均粗糙度仅为0.561 nm,膜层的激光损伤阈值为14 J/cm2(1064nm,1 ns).
关键词:
溶胶-凝胶
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激光损伤阈值
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薄膜
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ZrO2
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ZrOCl2·8H2O
