颜培
,
邓建新
,
连云崧
,
赵军
,
陈振
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2012.05.007
采用多弧离子镀膜法,在YT15及YG8硬质合金基体上沉积ZrTiN硬质涂层,并分析涂层微观形貌、物相组成、涂层的厚度、硬度及结合力等性能参数随沉积时间的变化.结果表明:沉积时间不会影响ZrTiN涂层的晶面指数,涂层中只有单一面心立方结构相形成,且晶面指数始终为(111)；涂层的晶粒尺寸约为10nm且随沉积时间变化不大.沉积时间为120min时,涂层的显微硬度和结合力明显下降.
关键词:
ZrTiN涂层
,
多弧离子镀
,
沉积时间
,
微观结构
,
性能
