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肖剑荣 , 徐慧 , 李幼真 , 刘雄飞 , 马松山 , 简献忠
中国有色金属学报
使用CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了a-C:F:H薄膜样品.采用拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了测试和分析.研究发现:该膜呈空间网状结构,膜内碳与氟、氢的结合主要以sp3形式存在,而sp2形式的含量相对较少;在薄膜内主...
关键词: a-C:F:H薄膜 , 等离子体增强化学气相沉积 , 低介电常数 , 化学键
甘肇强 , 陆新华
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.02.004
改变CHF3/CH4流量比R=[CHF3]/([CHF3]+[CH4]),采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWECR-CVD)方法沉积a-C:F:H薄膜.a-C:F:H薄膜的结构和光学带隙使用傅立叶变换红外光谱和紫外-可见光谱来表征.红外结果表明,在低流量比R(R<64%)下,薄膜的...
关键词: a-C:F:H薄膜 , 傅立叶变换红外光谱 , 紫外可见光谱
