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LTPS工艺中光刻胶与膜层粘附力的研究

剧永波 , 陈建军 , 张宸铭 , 简月圆 , 熊正平 , 张龙泉 , 赵东升 , 罗少先 , 刘昊 , 孙宏伟 , 白贺鹏

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173203.0190

本文对影响LTPS工艺中光刻胶和衬底间粘附力的4个因素进行了实验及理论分析.经实验发现:衬底的材质和粗糙度以及光刻胶中分子量的分布是影响光刻胶和衬底粘附力的最重要的两个因素.在改善粘附力方面HMDS对于电负性较强的金属衬底和光刻胶的粘附力有较好的改善效果,对于SiNX、A-Si及P-Si衬底改善效果明显,且无差异,对于ITO没有改善.光刻胶涂布后适当延长烘烤时间也可以有效改善光刻胶和衬底的粘附力.

关键词: 粘附力 , 光刻胶 , , , 氧化铟锡 , 多晶硅 , 非晶硅 , 氮化硅

AZ91D镁合金表面Ni-P化学镀层的微观组织与性能

杨贵荣 , 宋文明 , 马颖 , 张旭明 , 郝远

材料保护

以直接化学镀的方法在AZ91D镁合金表面制备了光亮、均匀、致密、厚度达40μm的Ni-P合金镀层,用现代分析技术分析了镀层的微观形貌、组织成分、显微硬度、结合力以及耐蚀性能.结果表明:Ni-P镀层属于中磷镀层,微晶结构,表面形貌呈胞状;镀层与基体结合良好;镀层的显微硬度比基体提高了4倍;镀层与抛光基体的结合力比未抛光的高,基体表面保持机加工状态的镀层破坏临界载荷为80.6 N;镀层具有较好的耐蚀性能.

关键词: 化学镀Ni-P , 镁合金 , 显微结构 , 结合力 , 耐蚀性

聚酯薄膜用丙烯酸酯水性胶制备研究

周守发 , 王辉 , 安佳丽 , 王旭亮 , 徐卫兵

合成材料老化与应用

采用自由基溶液聚合法,以过氧化苯甲酰( BPO)为引发剂合成丙烯酸酯乳液。讨论了丙烯酸( AA)加入量、溶剂类型、引发剂用量和中和剂类型对丙烯酸酯乳液表观及薄膜附着性能的影响,并考察了固化剂用量对附着性能的影响。聚合物乳液用红外和热重进行表征,扫描电镜观察了硬化膜表面。研究结果表明:以正丁醇为溶剂,N,N-二甲基乙醇胺为中和剂,w( AA)=7%和w( BPO)=1.2%(均相对于单体总质量而言),w(固化剂)=8%(相对于乳液干重)可得到耐水煮10min 的硬化膜。聚合物热分解温度为394.7℃,硬化膜层未脱落。

关键词: 丙烯酸 , 溶液聚合 , 附着力 , 聚酯薄膜

露天矿边坡支护抗滑桩桩间距计算及工程实践

赵政 , 侯克鹏

黄金 doi:10.11792/hj20140210

作为一种常用的支护方式,抗滑桩在露天矿滑坡治理中发挥着巨大的作用。抗滑桩设计的重要指标之一就是桩间距,在以往的研究成果中并没有完整的确定桩间距的理论和方法。通过对抗滑桩桩间土拱效应的研究,从桩侧与边坡土体间的摩擦阻力及黏着力承担滑坡推力的静力平衡条件和土拱拱脚处与跨中截面的强度条件2个方面进行分析,建立了桩间距的计算公式。工程实践表明,所建立的抗滑桩间距计算公式的计算结果较为合理,对于露天开采边坡加固工程具有一定的实用价值。

关键词: 抗滑桩 , 土拱效应 , 黏着力 , 强度条件 , 桩间距

离子轰击增强金刚石膜与Si衬底结合力的进一步研究

徐幸梓 , 刘天模 , 曾丁丁 , 张兵 , 刘凤艳

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.045

由于金刚石与Si有较大的表面能差,利用化学气相沉积(CVD)制备金刚石膜时,金刚石在镜面光滑的Si表面上成核困难,而负衬底偏压能够增强金刚石在镜面光滑Si表面上的成核,表明金刚石核与Si表面的结合力也得到增强.本文分析衬底负偏压引起的离子轰击对Si表面产生的影响之后,基于离子轰击使得Si衬底表面产生了微缺陷(凹坑)增大了金刚石膜与Si衬底结合的面积,理论研究了离子轰击对金刚石膜与Si衬底结合力的影响.

关键词: 金刚石膜 , 离子轰击 , 凹坑 , 结合力

15—5PH不锈钢表面多弧离子镀高结合性能TiN膜层研究

陈美艳 , 童洪辉 , 沈丽如 , 金凡亚 , 赵燕

功能材料

多弧离子镀方法在15-5PH不锈钢材料表面制备结合力、硬度和致密性高的TiN涂层,提高材料表面硬度和抗高温氧化性能。分析结果显示过渡层成分、预热温度、工作气压及负偏压等主要参数对膜层性能影响明显。得到Ti为过渡层时,预热250℃,气压3.0Pa,600V偏压镀膜工艺参数最佳,制备的膜基结合力高于60N,表面硬度〉1200HV0.05,膜层表面大液滴密度尺寸最低。膜层表面显微硬度、膜层沉积速率和膜基结合力随工作气压升高不同程度地先升高后降低。

关键词: 多弧 , TiN , 过渡层 , 结合力

不同基底上SiO2薄膜的显微结构和力学性能

王河 , 贺洪波 , 张伟丽

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12461

用电子束蒸发技术在K9玻璃及两种不同取向的钇铝石榴石(Y3Al5O12,简称YAG)晶体上沉积了SiO2薄膜,采用X射线衍射仪和纳米划痕仪对薄膜显微结构和力学性能进行了研究.实验结果表明:薄膜在K9、YAG(100)和YAG(111)基底上分别呈现非晶态和多晶态;沉积在不同基底上的薄膜的弹性模量并无明显差异;SiO2薄膜在K9和YAG基底上呈现不同的划痕破坏模式,并且YAG晶体上薄膜的粘附失效临界附着力远远小于SiO2薄膜与K9基底的附着力.本文从薄膜的结构和弹性模量两方面分析解释了不同基底上薄膜的力学行为.

关键词: SiO2薄膜 , 显微结构 , 弹性模量 , 附着力 , K9 , YAG

Ce2O3改性环氧涂料在高压开关产品涂装修复中的应用

李宝增 , 姚彦芳

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2016.11.008

高压开关产品腐蚀防护涂层现场修复技术近年来发展迅速,施工操作方便成为现场修复的关键.在环氧树脂涂料中添加稀土氧化物Ce2O3进行改性,并以丙烯酸聚氨酯涂料作为面漆,选择多种基体,通过简单的前处理后进行涂装.结果发现,涂层体系与基体结合良好,提高了涂层的耐腐蚀性能,添加稀土氧化物的环氧底漆技术适合于现场涂装产品维修应用.

关键词: 稀土 , 高压开关 , 附着力 , 耐蚀能力 , 涂装修复 , 环氧树脂涂料

Al2O3的表面改性及其在环氧树脂导热涂料中的应用?

雷定锋 , 马文石 , 郑梓聪 , 汪双凤 , 刘应亮

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.07.044

先用硅烷偶联剂 KH-560对 Al2 O3粉末填料进行表面改性,再按一定比例将其添加到 E-20型环氧树脂溶液中,并配合自制的潜伏型环氧树脂固化剂及其它助剂,制备了环氧树脂导热涂料,用拉伸试验、附着力测试、导热率测试和热失重分析对导热涂层进行了研究.结果表明,随着填料含量的增加,涂层的导热率开始以缓慢的速度增长,当填充量超过45%时,导热率快速增大;少量的填料能提高涂层的拉伸强度,而填充量过高时,拉伸强度反而被削弱;将表面改性后的Al2 O3用于导热涂层能得到比改性前更大的拉伸强度和更高的导热率;当改性Al2 O3的添加量为75%时,涂层的导热率达到1.33 W/(m?K),涂层对铝材的附着力级别为0,对应的拉伸强度和断裂伸长率分别为15.4 MPa和8.4%.

关键词: 环氧树脂 , 表面改性 , 导热涂料 , 力学性能 , 附着力

多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系双层膜的结构与力学性能

赵时璐 , 张震 , 张钧 , 王双红 , 张正贵

稀有金属

采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备了(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N和CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N 2种四元双层氮化物膜.利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析2种双层膜的微观组织、成分和结构;利用划痕仪和显微硬度计对比2种双层膜的力学性能.结果表明,获得的2种双层膜均具有B1-NaCl型的TiN面心立方结构;双层膜的组织均是典型的柱状晶结构;沉积偏压为-50~-200 V时,双层膜的力学性能均优于(Ti,Al,Zr,Cr)N单层膜,并与Ti-Al-Zr-Cr-N系梯度膜的力学性能相当,同时(Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N双层膜可获得更高的硬度(HV0.01最高值为41 GPa),而CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N双层膜可获得更强的膜层与基体间结合力(所有值均大于200 N).

关键词: 多弧离子镀 , (Ti,Al,Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N , CrN/(Ti,Al,Zr,Cr)N , 显微硬度 , 结合力

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