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开孔氧化铝薄膜/铝合金基体热屈曲变形和应力分析

弓满锋 , 乔生儒 , 梅芳 , 袁月清

材料导报

假设薄膜和基体界面处于理想结合状态,基于应变协调理论,采用有限元软件(ANSYS 8.0)分析了不同膜基比(hc/hs)和开孔对氧化铝薄膜/铝合金基体系统热屈曲变形、热应力的影响.结果表明,当矩形薄板发生热屈曲时,曲率和热应力均随膜基比非线性变化.随着膜基比的增加,曲率不断减小,而薄膜和基体中的热应力表现出不同的变化趋势,基体中的热应力随膜基比的增加而增加,薄膜中的热应力随膜基比的增加而减小.当hc/hs<0.005时,曲率受膜基比的影响非常大且曲线较陡;当hc/hs>0.005时,曲率随膜基比的增加而缓慢减小.开孔能在一定程度上缓解系统的热屈曲变形,但是这种缓解程度相对较小.无孔时系统中的热残余应力在面内基本上都是均匀分布的,而开孔时系统中的热残余应力分布不再均匀,特别是在小孔附近产生了严重的应力集中现象,膜基比越小则应力集中现象越严重.

关键词: 氧化铝薄膜 , 铝合金 , 热屈曲 , 变形 , 应力 , 有限元

Ag-Al2O3粉体复合材料形成过程分子动力学模拟

于杰 , 陈敬超 , 洪振军 , 冯晶

复合材料学报

采用分子动力学的方法研究了Al-Ag合金粉末在氧化气氛进行热处理的物相转变与扩散行为,着重对物相扩散速率、转变温度、Ag-Al2O3物相转变过程进行了研究。结果表明:O原子与Al原子的相互作用为Ag原子的扩散提供动力,Ag的析出与Al2O3致密氧化膜的形成相互冲突,在600 K氧化气氛下合金粉末中Ag的析出速率大,内部形成Ag2Al相。实验结果验证了模型设计与计算结果的合理性,表明通过控制反应温度、Al2O3致密氧化膜的形成和Ag的短路径扩散能够控制Ag在纳米尺度内。

关键词: 分子动力学模拟 , 催化剂 , Ag-Al2O3复合材料 , 扩散 , Al2O3氧化膜

工艺气体比例对微波MO CVD沉积氧化铝膜性能影响?

张健 , 巴德纯 , 赵崇凌 , 杜广煜 , 刘坤

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.05.043

AlO 薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N2 O 和 TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明,随着N2 O 比例增大,薄膜中O/Al原子比例有上升趋势;膜层沉积速度显著降低;膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以,工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。

关键词: 线性微波源 , 氧化铝薄膜 , 工艺气体比例 , 折射率 , 沉积速度

反应溅射非晶态氧化铝薄膜

楼翰一 , 朱圣龙 , 王福会 , 吴维(?)

金属学报

研究了平面磁控直流反应溅射法沉积氧化铝薄膜的过程。结果表明氧分压大小对反应溅射过程有决定性作用,当氧分压增大或减小过程中存在两个阈值。氧分压小于阈值为金属Al溅射区,大于阈值为氧化铝溅射区。在阈值附近总气压、溅射电压和沉积速率发生突变,溅射特性(V-J)曲线有不同规律。沉积的氧化铝膜为非晶态,高温下可晶化,本文还讨论了反应溅射的机理。

关键词: 氧化铝膜 , amorphous film , reactive sputtering

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