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低温离子渗硫技术研究现状及展望

崔娜 , 韩彬 , 王勇

表面技术

低温离子渗硫技术克服了传统渗硫方法的不足，是目前最常用的FeS固体润滑薄膜制备方法。由于存在理论研究尚未完善、应用材料相对单一、微纳米硫化物薄膜表征困难等问题，该技术的应用推广及其工业化进程受到限制。综述了离子渗硫技术在渗硫机理、工艺研究、硫化物薄膜表征及渗硫层摩擦学性能等方面的研究进展，分析了渗硫层减摩作用机理和当前离子渗硫应用的基体材料类型，指出了其未来的发展方向。

关键词: 低温离子渗硫 , 硫化物薄膜 , 减摩机理