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检索条件：关键词=antioxidation property
田艳红王春青赵少伟
金属学报 doi:DOI: 10.3724/SP.J.1037.2009.00807
通过磁控溅射沉积TiN/Ag金属化层作为Cu焊盘的保护层, 非晶态的TiN膜作为阻挡层, 阻止Cu原子的向外扩散; 选择能够与Au丝形成固溶体的Ag薄膜作为键合层, 提高超声键合性能. 超声键合性能测试和抗氧化性能测试表明, TiN/Ag金属化层结构作为Cu焊盘保护层, 具有较好的键合能力, 其键合...
关键词: Cu互连 , metallization , ultrasonic bondability , antioxidation property
邵红红 , 徐涛 , 王晓静 , 邓进俊
功能材料
用射频磁控溅射法在单晶Si基体上制备了硅钼薄膜,对薄膜进行真空退火处理以及高温氧化实验,借助SEM和X射线衍射仪（XRD）等仪器对退火前后的薄膜以及高温氧化后的薄膜进行了分析。结果表明沉积态的硅钼薄膜为非晶态,高温真空退火使薄膜由非晶态转变为晶态,致密的复合氧化物是硅钼薄膜具有良好的抗氧化性能的主要...
关键词: 磁控溅射 , 硅钼薄膜 , 抗氧化性
