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杜姗 , 黄美东 , 刘春伟 , 唐晓红 , 吕长东
表面技术
采用射频反应磁控溅射方法制备氧化钒(VOx)薄膜,对样品的沉积速率、物相结构、表面形貌和可见光波段的透过率进行表征,研究了在沉积气压一定的情况下,氧氩流量比对氧化钒薄膜结构和光学性能的影响.结果表明,改变氧氩流量比可明显改变薄膜结构,随着氧气比例的增加,沉积速率下降,薄膜表面出现了颗粒结构,颗粒尺寸具有增大的趋势,光透过率增大.
关键词: 氧化钒薄膜 , 氧气流量 , 氩气流量 , 反应磁控溅射
李早阳 , 刘立军 , 马文成 , 余庆华 , 李凯
工程热物理学报
耦合求解了多晶硅定向凝固炉内热传导、热辐射、熔体和氩气热对流等各种耦合换热，比较分析了不同氩气流量下定向凝固炉内部热场分布和硅熔体流动结构。结果表明，当氩气流量增大到一定值时，氩气流对凝固过程中硅熔体流动和热输运的影响显著增强。
关键词: 氩气流 , 多晶硅铸锭 , 定向凝固 , 数值模拟
