欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(1)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

微重力双向温差作用下Czochralski法硅熔体中的热毛细对流

魏程星云 , 彭岚 , 张全壮

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.12.014

采用数值模拟的方法研究了微重力条件下Czochralski法生长硅晶体过程中熔体热毛细对流的基本特征,探讨了水平和垂直温度梯度的耦合对熔体流动的影响.熔体自由表面与外界辐射换热,水平温度梯度 Ma-rangoni(Ma)数选取(0~3000),底部热流Q选取(1.39×10-2~1.76×10-2).结果表明,当Q和Ma 数均较小时,流动为稳态,液池内产生3个流胞,熔体流动由Q主导,减小Q或增大Ma 数可使流动更稳定.当Ma 数增大到一定值时,流动从稳态转变为非稳态,流动的临界Mac 数随Q的增大而显著减小.流动失稳后,出现了新的流动转变方式,Ma 数为影响表面波动形式的关键因素,Q会改变热流体波数,是晶体附近的热流体波产生的决定因素.随着Ma 数和Q的不断增强,自由表面最终形成弯曲条幅状热流体波.

关键词: 热毛细对流 , Cz结构 , 双向温度梯度 , 数值模拟 , 表面张力

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词