魏程星云
,
彭岚
,
张全壮
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.12.014
采用数值模拟的方法研究了微重力条件下Czochralski法生长硅晶体过程中熔体热毛细对流的基本特征,探讨了水平和垂直温度梯度的耦合对熔体流动的影响.熔体自由表面与外界辐射换热,水平温度梯度 Ma-rangoni(Ma)数选取(0~3000),底部热流Q选取(1.39×10-2~1.76×10-2).结果表明,当Q和Ma 数均较小时,流动为稳态,液池内产生3个流胞,熔体流动由Q主导,减小Q或增大Ma 数可使流动更稳定.当Ma 数增大到一定值时,流动从稳态转变为非稳态,流动的临界Mac 数随Q的增大而显著减小.流动失稳后,出现了新的流动转变方式,Ma 数为影响表面波动形式的关键因素,Q会改变热流体波数,是晶体附近的热流体波产生的决定因素.随着Ma 数和Q的不断增强,自由表面最终形成弯曲条幅状热流体波.
关键词:
热毛细对流
,
Cz结构
,
双向温度梯度
,
数值模拟
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表面张力