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MOD—YBCO对缓冲层组织结构的影响

金利华 , 卢亚锋 , 白利锋 , 冯建情 , 于泽铭 , 王耀 , 李成山

低温物理学报

采用金属有机沉积（MOD）的方法在两种缓冲层衬底上成功制备出YBCO超导层，在77K自场条件下获得超导临界电流密度达到～1MA／cm2．本文主要研究了MOD过程对缓冲层的组织结构的影响，采用X射线衍射和扫描电镜对薄膜的相组成和形貌进行了表征．结果发现，在MOD制备YBCO薄膜过程中，缓冲层会发生一定程度的界面反应和衬底氧化，对材料的超导性能产生影响．

关键词: 涂层导体 , 金属有机沉积 , 缓冲层