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微/纳米CVD金刚石涂层沉积工艺参数优化

许晨阳 , 解亚娟 , 邓福铭 , 陈立 , 雷青

人工晶体学报

通过正交实验设计工艺参数,利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)制备金刚石涂层,采用扫描电镜、洛氏硬度计、X射线衍射仪等对金刚石涂层进行性能表征,同时进行切削试验,从而确定微米层和纳米层最佳的碳源浓度、沉积气压、热丝与基体间距.结果表明:最优微米金刚石涂层沉积工艺参数为碳源浓度2%,沉积气压3 kPa...

关键词: 碳源浓度 , 沉积气压 , 热丝与基体间距