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郑建华 , 周锦兰 , 俞开潮 , 葛学贵 , 于澍燕
催化学报
以N2和O2为载气,采用催化剂增强化学气相沉积法于聚酰亚胺上获得了Pt和Pd-Pt双层金属薄膜. 当使用Pd(hfac)2和PtMe2(COD)为前驱体,在同一反应器内共沉积时,只有Pt被沉积. 金属Pd和Pt顺序沉积可形成Pd-Pt双层膜.
关键词: 催化剂增强化学气相沉积 , 聚酰亚胺 , 铂膜 , 钯-铂双层膜
