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轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响

郎文昌肖金泉宫骏孙超黄荣芳闻立时

金属学报 doi:DOI:10.3724/SP.J.1037.2009.00556

研究了轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响规律, 利用有限元分析软件FEMM对轴对称磁场的分布进行了模拟, 采用SHT-V型磁场测试仪测试了磁场强度, 分析了靶面不同磁场分量的分布规律. 从电弧斑点放电的物理机制出发, 探讨了不同磁场分量和轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响机制. 结果表明, 轴对...

关键词: 电弧离子镀 , axisymmetric magnetic field , finite element analysis , cathode spot movement

轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响

郎文昌 , 肖金泉 , 宫骏 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2009.00556

研究了轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响规律,利用有限元分析软件FEMM对轴对称磁场的分布进行了模拟,采用SHT-V型磁场测试仪测试了磁场强度,分析了靶面不同磁场分量的分布规律.从电弧斑点放电的物理机制出发,探讨了不同磁场分量和轴对称磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响机制.结果表明,轴对称磁场通过影响...

关键词: 电弧离子镀 , 轴对称磁场 , 有限元分析 , 弧斑运动

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