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基于三元镶嵌靶的反应溅射沉积涂层成分模拟计算

张旭海 , 曾宇乔 , 蒋建清

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.增刊(Ⅰ).035

成分的有效控制是多元涂层材料研究和应用中的重点和难点。在反应溅射沉积 Berg 模型基础上建立了多元镶嵌靶溅射沉积涂层的成分模拟方法，以Ti、Al 和石墨三元镶嵌靶为例，模拟了靶材石墨含量及N2分压对TiAlCN涂层中Ti/Al原子比、C含量和N含量的影响，并对引起成分变化的内在原因进行了探讨。

关键词: 成分模拟 , 三元复合靶 , 反应溅射