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Fe/Nb多层膜中离子辐照效应研究

魏孔芳 , 王志光 , 孙建荣 , 臧航 , 姚存峰 , 盛彦斌 , 马艺准 , 缑洁 , 卢子伟 , 申铁龙 , 杨成绍

原子核物理评论

采用磁控溅射技术在Si衬底上沉积Si/[Fe(10 nm)/Nb(4 nm)/Fe(4 nm)/Nb(4 nm)]_2/[Fe(4nm)/Nb(4 nm)]_4多层膜.用2 MeV的Xe离子在室温下辐照多层膜.采用俄歇深度剖析、X射线衍射和振动样品磁强计分析辐照引起的多层膜元素分布、结构及磁性变化....

关键词: 离子辐照 , Fe/Nb多层膜 , AES深度剖面分析 , XRD , VSM

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