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多组分缓冲层W梯度掺杂DLC复合薄膜研究

杨义勇彭志坚付志强邬苏东陈新春王成彪

金属学报

用离子束辅助非平衡中频磁控溅射技术, 在Si, 高速钢或不锈钢基体上分别沉积得到了具有多组分过渡金属层缓冲的W梯度掺杂类金刚石碳(DLC)膜, 研究了W靶电流对DLC膜组成、结构和性能的影响. 实验表明, 随着W靶电流增大, 薄膜中W掺杂量增加, W的碳化物含量增加, sp³结...

关键词: 复合镀膜技术 , diamond-like carbon (DLC) film , W doping, tribological property , null

全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能

刘洪喜 , 蒋业华 , 周荣 , 汤宝寅

材料热处理学报

用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜.膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀.Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp~3)和石墨键(sp~2)组成的混合无定形碳膜,且sp~3键...

关键词: 类金刚石碳膜(DLC) , 等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID) , Raman光谱 , AISI440C不锈钢

多组分缓冲层W梯度掺杂DLC复合薄膜研究

杨义勇 , 彭志坚 , 付志强 , 邬苏东 , 陈新春 , 王成彪

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2009.00448

用离子束辅助非平衡中频磁控溅射技术,在Si,高速钢或不锈钢基体上分别沉积得到了具有多组分过渡金属层缓冲的W梯度掺杂类金刚石碳(DLC)膜,研究了W靶电流对DLC膜组成、结构和性能的影响.实验表明,随着W靶电流增大,薄膜中W掺杂量增加,W的碳化物含量增加,sp~3结构含量减少;薄膜的纳米硬度和弹性模量...

关键词: 复合镀膜技术 , DLC薄膜 , W掺杂 , 摩擦学性能

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