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掩膜间隙和刻蚀温度对738模具钢侧蚀量的影响

黄红光 , 郭钟宁 , 王冠

腐蚀与防护

采用喷淋蚀刻工艺对738模具钢进行微细蚀刻加工,研究了蚀刻加工中掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量的影响.通过单因素方差分析对因素水平进行显著性检验,采用OriginPro 8.0拟合测蚀量与掩膜间隙、蚀刻温度关系的方程.结果表明,掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量有显著性影响;在30℃蚀刻时,侧蚀量随掩膜间隙的增大先快速增大后减小;在150 μm掩膜间隙下蚀刻,侧蚀量随蚀刻温度的增加而增加.

关键词: 738模具钢 , 掩膜间隙 , 蚀刻温度 , 侧蚀量