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衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响

娄建忠 , 李振娜 , 方晓燕 , 代秀红 , 宋安英 , 宋建民 , 刘保亭

人工晶体学报

采用脉冲激光沉积系统分别在LaAlO3(001)和MgO(001)衬底上沉积了Ba06Sr04TiO3(BST)薄膜,以Pt做电极分别构架了Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO3叉指电容器.利用X射线衍射仪、原子力显微镜和Aglient E4980LCR表分别对两种薄膜的结构、表面形貌和介...

关键词: 脉冲激光沉积 , Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜 , 外延 , 介电性能