张露石南林宫骏裴志亮高立军孙超
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00714
利用反应磁控溅射法在SiC长纤维表面沉积了(Al+Al2O3)扩散阻挡涂层, 研究了沉积工艺参数对涂层的成分、沉积速率的影响, 以及涂层对SiC纤维的表面残余应力及力学性能的影响. 结果表明, 随着溅射功率的增加, Al2O3涂层的沉积速率先迅速增加后缓慢增加; 随着工作气压的增加, Al2O3涂层的沉积速率先缓慢降低, 在工作气压到达一定值时, 沉积速率快速下降随后缓慢下降. 沉积的(Al+Al2O3)复合涂层保护了SiC纤维的富C层, 起到了保证纤维与Al2O3涂层之间结合力的作用; 激光Raman谱显示改性后纤维的表面残余应力有降低趋势. 室温和高温处理后复合丝的拉伸强度分别是计算值的97.69%和98.77%, 涂层对纤维的力学性能影响很小.
关键词:
SiC纤维
,
reactive magnetron sputtering
,
diffusion barrier layer
,
composite coating
,
residual stress
王启民
,
武颖娜
,
纪爱玲
金属学报
采用电弧离子镀方法在高温合金DSM11基材上沉积Al--O--N和Cr--O--N薄膜, 研究了不同O2, N2流量对薄膜相结构的影响以及高温下DSM11/NiCoCrAlY,DSM11/Al--O--N/NiCoCrAlY和DSM11/Cr--O--N/ NiCoCrAlY体系的元素互扩散行为.实验结果表明, Al(Cr)--O--N薄膜均为多晶膜,分别具有α--Al2O3+六方AlN和Cr2O3+CrN的相结构,随着N2, O2流量的改变, 两相的相对含量发生变化. 在1050℃下氧化100 h后, Al--O--N层阻挡基体与涂层间元素互扩散的作用优于Cr--O--N层. 扩散阻挡层对涂层的氧化动力学影响不大.
关键词:
Al--O--N
,
Cr--O--N
,
diffusion barrier layer
蔡妍
,
陆峰
,
陶春虎
,
李建平
,
张鹏飞
航空材料学报
doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2010.1.011
采用电弧离子镀技术(AIP)在HY3(NiCrAlYSi)涂层与镍基高温合金(K5合金)之间沉积一层Al薄膜经过马弗炉870℃加热1h形成Al_2O_3作为扩散障层,研究了Al_2O_3对HY3(NiCrAlYSi)涂层与基体的元素互扩散的阻碍作用和对涂层氧化动力曲线的影响.对于添加扩散障层前后的试样,进行循环抗氧化试验来评价其抗高温氧化性能,并用扫描电镜(SEM)分析氧化前后试样微观形貌和成分,用X-射线衍射仪分析涂层的相结构.试验结果表明:Al_2O_3有效阻止基体与涂层之间的元素互扩散,提高了HY3(NiCrAlYSi)涂层和K5合金的抗高温氧化性能.
关键词:
Al_2O_3
,
扩散障
,
HY3(NiCrAlYSi)涂层
,
抗高温氧化性能
张俊敏
,
闻明
,
谭志龙
,
王传军
,
沈月
,
易伟
,
管伟明
,
李艳琼
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.增刊(Ⅱ).025
WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能,已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层.迄今为止,中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口.因此,通过研究靶材制备工艺及性能的关系,制备出高密度、高纯度、富钛相β1(Ti,W)少的 WTi合金靶材,不仅能够把握相关领域发展方向,并且具有十分可观的市场前景.本文用行星球磨的方式对Ti、W粉末进行预处理及混合,得到不同粒度组成的混合粉末,用真空热压法对粉末进行成型,制备得到的 WTi10合金.利用X射线衍射仪(XRD)、金相和扫描电子显微镜(SEM)分析混合粉末的粒度组成,并对合金的结构和形貌进行分析,采用排水法及ICP测试仪,分析合金的密度及杂质含量.结果表明,在温度1200℃,压力30 MPa的真空热压条件下,制备得到的4个样品均已形成体心立方β相的WTi固溶体.且混粉球磨时间对 WTi固溶体的峰位及峰强没有影响.但粉末混合球磨时间对热压后合金的微观组织形貌影响较大,随着混粉时间的延长,富钛相β1呈先减少后增加的趋势,混粉3 h的热压得到的样品黑色富 Ti固溶体相区域最少,性能最优,合金的密度均达到理论密度的99．48％,纯度＞99．97％.采用该方法制备得到的WTi10合金可用于磁控溅射制备 WTi扩散阻挡层.以上研究为真空热压法制备半导体行业用钨钛靶材的研究提供一定的基础研究数据.
关键词:
扩散阻挡层
,
WTi
,
真空热压
,
相组成
,
微观结构
