李世宁
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邹凤君
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王丽娟
,
何维威
,
闫闯
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黄普林
,
孙洋
,
孙丽晶
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20163101.0052
超薄显示技术已成为市场的一种主流趋势.本文利用刻蚀后清洗的间歇式工艺研究了显示屏半成品的化学减薄.在光刻胶和边框胶保护下,调整氢氟酸浓度,加入一定量的硝酸、浓硫酸和盐酸,并添加超声辅助条件,刻蚀速率明显提高.通过交替的清洗工艺有效地降低了表面粗糙度,并减少了表面白色附着物的沉淀.显示屏厚度从0.8 ...
关键词:
显示屏
,
化学减薄
,
间歇式工艺
,
刻蚀
