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磷酸处理对多孔SiO2薄膜质子导电特性和双电层薄膜晶体管性能的影响

万相 , 刘阳辉 , 张洪亮

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2014.13404

采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了多孔SiO2薄膜,系统地研究了不同浓度磷酸处理对多孔SiO2薄膜的质子导电特性、双电层电容和以此多孔SiO2薄膜为栅介质的铟锌氧(IZO)双电层薄膜晶体管性能的影响.结果表明:多孔SiO2薄膜的质子电导率和双电层电容随磷酸浓度升高而增大,60％浓度磷...

关键词: 双电层 , 薄膜晶体管 , 磷酸处理 , 多孔SiO2