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检索条件：关键词=electrochemical etch
张佐兰
材料研究学报
本文介绍高精度控制Si 膜厚度的电化学腐蚀自停止新技术。讨论光照和电极欧姆接触等对腐蚀特性的影响,以及所得Si 膜的质量。
关键词: 电化学腐蚀 , etch-stop , membrane , sol material
杨利 , 周毅 , 张国艳 , 廖怀林 , 黄如 , 张兴 , 王阳元
稀有金属材料与工程
介绍了一种用于高品质射频集成电感的厚膜多孔硅背向生长技术.ASITIC模拟证明厚膜多孔硅衬底能够显著提高射频集成电感的性能.采用背向生长技术成功地制备出了厚膜多孔硅包括穿透整个硅片的多孔硅,并证实了该技术作为后处理工艺应用于CMOS技术的可行性.ESEM对所制样品的表面和截面形貌进行了分析.通过多组...
关键词: 多孔硅 , 射频集成电感 , 电化学腐蚀 , 后处理工艺
