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于翮 , 俞坚 , 马重芳
工程热物理学报
介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括：材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为构建微流道的材料,采用浇注法制作了PDMS微流道,并采用阳极键合方式进行微泵的封装。使用无水乙醇为工作流体对微泵进行流动实验,在驱动电压为90 V时,电液动力微泵驱动流体的最大流速可以达到92 uL/min。
关键词: 微型电液动力泵 , PDMS , 封装 , 电子冷却
