马天国
,
李辉
,
田广科
,
毕晓昉
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.04.040
PVD法制备 Fe-6．5％Si(质量分数,下同)高硅钢过程基片预处理工艺以及 Si 渗入对合金的软磁性能均有显著影响。采用磁损耗分离的方法剖析铁硅合金磁性变化的内在机理。采用四探针方法测试合金的电阻率；采用基于热分析仪(DSC)配置永磁场技术测量热重(TG)曲线确定合金的居里温度；采用振动样品磁强计(VSM)测定了材料的饱和质量磁矩；采用直流测试装置和硅钢测试仪测试合金的直流交流软磁性能。PVD法制备6．5％Si高硅钢最大磁导率达到16400,相比于初始态3％低硅钢基片,铁损值降低40％~50％。
关键词:
6 .5％Si高硅钢
,
磁控溅射
,
表面粗化
,
软磁性能
,
演化机理
