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紫外脉冲激光淀积法制备Pb(Ta0.05Zr0.48Ti0.47)O3薄膜的铁电性质

朱敏 , 殷江 , 刘治国

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.04.011

用紫外脉冲激光淀积方法在Pt/TiO2/SiO2/Si(001)衬底上制备了La1-xSrxCoO3/Pb(Ta0.05Zr0.48Ti0.47)O3(PTZT)/La1-xSrxCoO3异质结构薄膜。发现底电极La0.25Sr0.75CoO3可以诱导PTZT薄膜沿(001)方向取向生长。在500kHz和5V的工作电压下铁电电容器La0.25Sr0.75CoO3/PTZT/La0.25Sr0.75CoO3经过5×1010次反转之后,仍保持其初始电极化的96%。此异质结构横截面的扫描电镜照片表明界面上没有明显的因化学反应导致的第二相存在。

关键词: 脉冲激光淀积 , 铁电薄膜 , 疲劳特性

Sm掺杂对Ca_0.4Sr_0.6Bi_4Ti_4O_(15)铁电薄膜性能的影响

车全德 , 范素华 , 张丰庆 , 马建平 , 于冉 , 田清波

稀有金属材料与工程

利用溶胶凝胶工艺在Pt/TiO_2 /SiO_2 /Si衬底上制备了Ca_0.4Sr_0.6Sm_xBi_4-xTi_4O_(15)铁电薄膜.研究了不同钐掺量对薄膜的显微结构、晶粒取向及铁电性能的影响.结果表明:钐掺杂对钙锶铋钛铁电薄膜既有抑制氧空位所导致的畴钉扎作用,也有抑制晶粒生长发育的作用.当钐掺量x=0.05时薄膜样品晶粒发育较良好,沿a轴择优取向,I_((200))/I_((119))=0.869;样品铁电性能优良,剩余极化强度P_r=10.2 μC/cm~2,矫顽场强度E_c=120 kV/cm.

关键词: 铁电薄膜 , 钐掺杂 , 取向

交/直流源微弧氧化BaTiO3薄膜的微观结构及铁电性能

王敏 , 郭会勇 , 韩冰 , 李文芳

机械工程材料

以Ba(OH)2溶液为电解液,分别采用交/直流源微弧氧化技术在工业纯钛板表面沉积BaTiO3薄膜,并对薄膜的物相组成、表面形貌及铁电性能进行了表征.结果表明:直流源和交流源模式下沉积的BaTiO3薄膜分别主要由四方相和六方相构成;薄膜表面均匀散布有孔径为几百纳米至几微米的孔洞,且存在裂纹;六方相BaTiO3薄膜需经长时间高温退火才可生成具有铁电性能的四方相BaTiO3,而直流源微弧氧化可直接生成BaTiO3铁电薄膜.

关键词: 微弧氧化 , BaTiO3 , 铁电薄膜

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