材料期刊网

沉积能量与沉积速率对薄膜生长形貌的影响

伍达将 , 唐吉玉 , 崔婧 , 刘洋 , 朱永安

功能材料与器件学报

本文利用各向同性的周期性四方形基底,模拟了沉积能量与沉积速率对薄膜三维形貌的影响.模型主要分析了原子沉积、吸附原子扩散和原子脱附三个过程,同时详细地考虑了四方形基底的最近邻和次近邻的影响.结果表明:沉积能量对薄膜粗糙度、衬底填充比、岛的个数都有明显的影响.沉积速率对薄膜粗糙度的影响较小,在低沉积能量...

关键词: 沉积能量 , 沉积速率 , 粗糙度 , 填充比